报告摘要：
结合真空与等离子体的基础知识，从原理上讲解制备高性能薄膜的一些条件。通过制备纳米多层，梯度层及在薄膜中掺入碳纳米管、Si、Ni、V等物质来提高薄膜韧性的方法，获得硬度超过30GPa，韧性提高数倍的pc-CrAlSiN/composite-CrAlSiN纳米多层结构的涂层，打破了硬度和韧性不可兼得的魔咒。